Sc2O3

 

Sc2O3

 

 

Overview

Scandium oxide는 자외선영역 중 225nm정도의 짧은 파장 영역에서 투명하고 고굴절 박막을 생성한다. 박막은 불용성이며 단단하다.

 

박막특성

Sc2O3 박막은 증착온도에 도달하기 위해 e-beam source를 사용하여 녹인다. 비정질 박막은 150도 이하의 기판온도에서 증착가능하다.

 

도표

 

 

물질적 특성

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증착변수(한계)

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증착방법

물질은 건조한 상태에 두지만 수분 흡착을 줄이기 위해 가열하면 더 좋다.

spitting과 outgassing이 1A/sec정도로 진정될 때까지 낮은 power sweep로 전처리한다.(약 15분)

승화에 의해 증착된다. 천공을 막기 위해 계속 sweeping 한다.

 

응용분야

굴절율이 높고, 투명하고, 막이 단단하기 때문에 Sc2O3는 UV, AR, and bandpass 코팅의 고굴절 부품을 만드는데 적합하다.

248nm 과 351nm 내에서 AR, Beamsplitters, Bandpass Filter coating시 사용할 경우, SiO2나 MgF2과의 혼합하면 높은 손상역치를 갖는다고 알려져 있다.

 

forms and sizes available for Scandium Oxide, Sc2O3